Кинетика рекомбинации атомов в плазме хлора на образцах кремния - Ситанов, Д.В.; Кашин, В.В. (Горение и плазмохимия, 2014)
В этой работе представлены константы процессов рекомбинации (вероятности) для атомов хлора на кремнии в плазме Cl2 с использованием релаксационной импульсной методики (РИМ). Были проанализированы факторы влияющие на ошибку измерений. Были определены временные интервалы соответствующие стационарному состоянию поверхности.