IONIZATION INSTABILITY IN RADIO FREQUENCY LOW-PRESSURE DISCHARGE
Abstract
Ionization instability of the discharge, supported by a plane wave in the infinite and finite cylindrical discharge tubes is considered. At low pressure, the instability leads to excitation of the surface wave, when the resonance condition is satisfied. The amplitude of the surface wave can exceed the field of the plane wave, causing the discharge existence at lower field strengths, and plasma inhomogeneity. Similar effects can take place in large size plasma etching reactors.
References
(1). Гильденбург В.Б., Ким А.В. // Журн.эксперим. и теорет. физики 1978. Т. 74.С. 141.
(2). Wood. R.W. Phys. Rev. 35 (1930) 673.
(3). Penfold A.C., Thornton J.A., Warder R.C. Czechosl. J. Phys. 1973. V. B23 P. 431.
(4). Джерпетов Х.А., Зайцев А.А. // Доклады АН СССР. 1953. Т. 89. С. 825.
(5). Зайцев А.А., Джерпетов Х.А. // Журн. эксперим. и теорет. физики. 1953. Т. 24. С. 516.
(6). Двинин С.А., Довженко В.А., Солнцев Г.С. // Физика плазмы. 1982. Т. 8. С. 1228.
(7). Вихарев А.Л., Гильденбург В.Б., Иванов О.А., Степанов А.Н. // Физика плазмы. 1984. Т. 10. С. 165.
(8). Вихарев А.Л., Гильденбург В.Б., Ким А.В., Литвак А.Г., Семенов В.Е. // В сб.: Высокочастотный разряд в волновых полях. Горький: ИПФ АН СССР. 1988. C. 41.
(9). Ланда П.С. Автоколебания в распределенных системах. М.: URSS/Книжный дом «Либроком», 2010
(10). Б.С. Кернер, В.В. Осипов В.В. Автосолитоны. М.: Наука. 1991.
(11). Вологиров А.Г., Двинин С.А., Михеев В.В., Свиридкина В.С. // Физика плазмы. 2008. Т. 34, С. 746
